加速度计结构_加速度计结构

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╯＾╰ 华为公司申请压电加速度计、压电传感器及智能设备专利,用于提高...本申请提供一种压电加速度计、压电传感器及智能设备,涉及机械电子技术领域,用于提高压电加速度计的可靠性。压电加速度计例如为微电机系统压电加速度计。压电加速度计包括基座、第一感应组件、第二感应组件以及连接结构。第一感应组件包括第一悬臂梁、第一质量块以及第一...

云际芯光申请一体式的谐振式石英加速度计制造方法专利,使石英加...本发明公开一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法,包括:选用石英片,对石英片依次进行酸洗、碱洗和 DI 水冲洗,得到处理后的石英片;进行镀膜,形成膜层;形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片;放入第一种有机刻蚀溶液进行湿法刻蚀;对石英片上的侧壁进行消棱;石英片的...

ˋ﹏ˊ 案例分享 | MEMS电容式加速度计虚拟仿真实验恒点与南理工联合开发的MEMS电容式加速度计虚拟仿真实验然而目前MEMS传感器的教学只能停留在书面教学层面,且学生普遍反映其内容“门槛太高”,主要是MEMS传感器设计难度大,结构复杂,制作工艺设备价格昂贵且对环境要求非常苛刻,校准试验受到场地及安全限制等实验教学...